1近常压XPS真空系统，包含分析腔和快速进样腔

　　1.1 分析腔采用μ金属腔体或不锈钢腔体加消磁线圈

　　1.2 分析腔配备分子泵以及前级泵，真空≤5×10-9 mbar

　　1.3 快速进样腔采用不锈钢腔体

　　1.4 快速进样腔配备分子泵和前级泵，真空≤5×10-8 mbar

　　2电子能量分析器

　　*2.1 半球型，平均半径150 mm

　　*2.2四级差分抽气系统，一级和二级差分抽气之间配有阀门，可以实现真空腔体进气时保证分析器的真空度

　　2.3工作压力最大可达25 mbar

　　*2.4分析器接收角：≥44o

　　2.5 工作距离 300-500μm

　　2.6 八个入口狭缝，三个出口狭缝

　　2.7 能量分辨率 ≤10 meV

　　*2.8探测能量范围可达3.5 keV

　　*2.9 Ag 3d峰计数率（在Al靶X光源束斑≤250 μm, 20 W条件下）：

　　≥70 kcps在UHV条件；≥7 kcps 在10 mbar N2条件；≥0.5 kcps在25 mbar N2条件

　　*2.10 配有一维探测器（ADCMOS）

　　3 单色化阳极靶微聚焦X射线光源

　　*3.1 类型：单色化Al/Ag/Cr三阳极靶

　　*3.2工作范围：10-10 – 25 mbar

　　3.3 Al靶光斑尺寸： ≤ 200 μm

　　3.4 Al靶光通量≥1.0x1010 photons /s; Ag靶光通量≥1.0x109 photons/s，Cr靶光通量≥1.0x1010 photos/s

　　3.5 配有差抽系统

　　3.6 配套水冷机组，最大水压可达9 bar

　　4 进气气路

　　4.1配有三路进气管路系统，配备质量流量计，用于气体通入

　　4.2带有自动压力控制，压力范围：1-30 mbar

　　5 分析腔四轴全自动样品架

　　5.1四轴样品架移动范围：

　　X = ±12.5 mm

　　Y = ±12.5 mm

　　Z 方向范围随系统配置

　　P = ±180° polar（极角）

　　5.2 四轴全自动化马达

　　*5.3配备150 W红外激光加热器，在25 mbar N2条件下，样品温度最高可达1000 ℃

　　5.5 配有液氮冷却，样品温度可到150 K

　　6. 紫外光源

　　6.1 束流密度＞2x1016 photons/(sec x sterad)

　　*6.1 能量分辨率：FWHM＜2meV

　　6.3 可用气体：He、Ne、Ar等

　　6.4 样品上束斑尺寸：＜500μm

　　*6.5 可在近常压环境下进行UPS测试；

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